本報(bào)訊(記者薛婧)近日,依托自主研發(fā)的12英寸碳化硅長(zhǎng)晶爐及熱場(chǎng)技術(shù),哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司(以下簡(jiǎn)稱科友半導(dǎo)體)成功制備出12英寸碳化硅晶錠。這一成果標(biāo)志著科友半導(dǎo)體成為國(guó)內(nèi)少數(shù)同時(shí)掌握12英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備與工藝全套核心技術(shù)的半導(dǎo)體企業(yè)之一,實(shí)現(xiàn)了從設(shè)備到材料的全面自主突破。
碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料,是新能源汽車、5G通信、軌道交通等國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。近年來(lái),隨著人工智能及可穿戴設(shè)備(如AR眼鏡)等新興領(lǐng)域的快速發(fā)展,碳化硅的高頻、高功率、耐高溫等性能優(yōu)勢(shì)進(jìn)一步凸顯??朴寻雽?dǎo)體成功制備出12英寸碳化硅晶錠,可大幅提升芯片產(chǎn)出量、顯著降低單位成本,將為新能源、通信、AR等產(chǎn)業(yè)注入更強(qiáng)發(fā)展動(dòng)力。
科友半導(dǎo)體成立于2018年5月,是專注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設(shè)計(jì)、科研成果轉(zhuǎn)化的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),研發(fā)覆蓋半導(dǎo)體裝備研制、長(zhǎng)晶工藝、襯底加工等多個(gè)領(lǐng)域,形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),已累計(jì)授權(quán)專利90余項(xiàng),實(shí)現(xiàn)先進(jìn)技術(shù)自主可控。